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當前位置：首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-300大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

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大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

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產品型號：NM-300
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品牌PDV/派迪威應用領域綜合

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產品描述：

NM-300緊湊型線性納米定位臺，沿X方向可提供100μm或更大行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺。
該納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優化的集成態撓性導向系統可確保好的平行運動。由于采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩定的性能，使其適用于定位控制，例如步進或連續掃描。壓電陶瓷促動器為樹脂絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。其使用壽命被證明可在無問題情況下運行1000億個循環。
閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。

產品參數：

型號NM-300NM-300S公差
運動軸ZZ——
集成傳感器——SGS——
標稱行程范圍(@0~+120V)300μm300μm±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)350μm350μm±20%
分辨率3.0nm6.0nmtyp.
最小移動步長10nm10 nmtyp.
線性誤cha——0.2%typ.
重復定位精度(全行程)——0.1%typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)50μrad50μradtyp.
承載能力10N10NMax.
諧振頻率(0g)360Hz360 Hz±20%
運動方向剛度0.25N/μm0.25N/μm±20%
運動方向推力/拉力10N/8N10N /8N±20%
驅動機構壓電陶瓷壓電陶瓷——
工作溫度范圍-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
線纜長度1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————
外形尺寸(長×寬×高)50×50×17.5mm50×50×17.5mm——
重量250g250g±5%
PZT&Sensor連接器LEMOLEMO——
本體材質鋼、鋁鋼、鋁——
注：所有規格參數基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯系。表中“-"表示為不適用。
1.尾綴“-S"為閉環，內置位置傳感器。開環尾綴不帶“S，無線性誤差、重復度數據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0.+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統無摩擦，所以系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數據值，檢測報告中會給出實際的測量數據值。

產品尺寸：

大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺



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